Проект Chip MBE, завершений у минулі роки

Технології

Молекулярно-променева епітаксія, або МПЕ, – це нова техніка вирощування високоякісних тонких кристалічних плівок на кристалічних підкладках. В умовах надвисокого вакууму нагрівальна піч, оснащена всіма необхідними компонентами та генерує пару. Через отвори, що утворюються після колімації пучка, атомний або молекулярний пучок безпосередньо впорскується в монокристалічний субстрат до потрібної температури, контролюючи сканування субстрату молекулярним пучком, що одночасно призводить до "зростання" молекул або атомів у кристалічних шарах, утворюючи тонку плівку на субстраті.

Для нормальної роботи обладнання MBE необхідне безперервне та стабільне транспортування високочистого, низькотискного та надчистого рідкого азоту до охолоджувальної камери обладнання. Загалом, резервуар, що забезпечує рідкий азот, має вихідний тиск від 0,3 МПа до 0,8 МПа. Рідкий азот при температурі -196 ℃ легко випаровується в азот під час транспортування трубопроводом. Після того, як рідкий азот зі співвідношенням газ-рідина приблизно 1:700 газифікується в трубопроводі, він займатиме велику кількість простору для потоку рідкого азоту та зменшуватиме нормальний потік на кінці трубопроводу для рідкого азоту. Крім того, в резервуарі для зберігання рідкого азоту ймовірно залишатимуться неочищені залишки. У трубопроводі для рідкого азоту наявність вологого повітря також призведе до утворення крижаного шлаку. Якщо ці домішки потраплять в обладнання, це спричинить непередбачувані пошкодження обладнання.

Таким чином, рідкий азот у зовнішньому резервуарі для зберігання транспортується до обладнання MBE в безпиловому цеху з високою ефективністю, стабільністю та чистотою, а низький тиск, відсутність азоту, відсутність домішок, 24 години без перерви, така система управління транспортуванням є кваліфікованим продуктом.

тсм (4)
тсм (1)
тсм (3)

Відповідне обладнання MBE

З 2005 року компанія HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) оптимізує та вдосконалює цю систему, а також співпрацює з міжнародними виробниками обладнання MBE. Виробники обладнання MBE, включаючи DCA та REBER, мають партнерські відносини з нашою компанією. Виробники обладнання MBE, включаючи DCA та REBER, співпрацювали у великій кількості проектів.

Riber SA є провідним світовим постачальником продуктів для молекулярно-променевої епітаксії (MBE) та супутніх послуг для досліджень складних напівпровідників та промислового застосування. Пристрій Riber MBE може наносити дуже тонкі шари матеріалу на підкладку з дуже високим рівнем контролю. Вакуумне обладнання HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) оснащене Riber SA. Найбільшим обладнанням є Riber 6000, а найменшим - Compact 21. Воно знаходиться в хорошому стані та отримало визнання клієнтів.

DCA є провідним світовим оксидним методом МБЕ. З 1993 року проводиться систематичний розвиток методів окислення, нагрівання антиоксидантних субстратів та джерел антиоксидантів. З цієї причини багато провідних лабораторій обрали оксидну технологію DCA. Композитні напівпровідникові системи МБЕ використовуються по всьому світу. Система циркуляції рідкого азоту VJ від криогенного обладнання HL (HL CRYO) та обладнання МБЕ кількох моделей DCA мають відповідний досвід у багатьох проектах, таких як моделі P600, R450, SGC800 тощо.

тсм (2)

Таблиця продуктивності

Шанхайський інститут технічної фізики, Китайська академія наук
11-й інститут Китайської корпорації електронних технологій
Інститут напівпровідників, Китайська академія наук
Huawei
Академія Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Компанія «Дельта Електронікс»
Сучжоу Евербрайт Фотонікас

Час публікації: 26 травня 2021 р.

Залиште своє повідомлення