Новини - Проект Chip MBE завершено за останні роки

Технологія

Епітаксія молекулярного променя, або MBE,-це нова методика вирощування високоякісних тонких плівок кристалів на кристалічних субстратах. У ультра-високих вакуумних умовах нагрівальна плита оснащена всілякими необхідними компонентами і генерує пар, через отвори, що утворюються після колімаційного атомного або молекулярного променя, пряма введення відповідної температури одноразового підкладки, контролюючи молекулярний промінь до Сканування субстрату одночасно може зробити молекули або атоми в кристалічних вирівнювальних шарах, утворюючи тонку плівку на "росту" субстрату.

Для нормальної роботи обладнання MBE висока чистота, низький тиск та надолісний рідкий азот необхідні для постійного та стабільного транспортування до охолоджуючої камери обладнання. Взагалі, резервуар, який забезпечує рідкий азот, має вихідний тиск між 0,3 МПа і 0,8 мпА. Азагідний азот при -196 ℃ легко випаровується в азот під час транспортування трубопроводу. Після того, як рідкий азот із співвідношенням газо-рідини близько 1: 700 буде газовим у трубопроводі, він займе велику кількість рідкого простору азоту і зменшить нормальний потік в кінці трубопроводу рідкого азоту. Крім того, у резервуарі для зберігання рідкого азоту, ймовірно, буде сміття, яке не було очищено. У трубопроводі рідкого азоту існування мокрого повітря також призведе до генерації льодового шлаку. Якщо ці домішки будуть виписані в обладнання, це спричинить непередбачувану шкоду обладнання.

Таким чином, рідкий азот у зовнішньому резервуарі для зберігання транспортується до обладнання MBE в без пилу з високою ефективністю, стабільністю та чистим, а низький тиск, ні азоту, без домішок, 24 години безперебійних, така система транспортування є кваліфікований продукт.

Відповідність обладнання MBE

З 2005 року кріогенне обладнання HL (HL Cryo) оптимізує та вдосконалює цю систему та співпрацює з міжнародними виробниками обладнання MBE. Виробники обладнання MBE, включаючи DCA, Reber, мають співпрацю з нашою компанією. Виробники обладнання MBE, включаючи DCA та Reber, співпрацювали у великій кількості проектів.

Riber SA є провідним глобальним постачальником продуктів епітаксії молекулярної промені (MBE) та пов'язаними з ними послуг для досліджень напівпровідників та промислових застосувань. Пристрій Riber MBE може осадити дуже тонкі шари матеріалу на підкладці, з дуже високими елементами управління. Вакуумне обладнання кріогенного обладнання HL (HL Cryo) оснащене Riber SA, найбільшим обладнанням є Riber 6000, а найменший - компактний 21. Він у хорошому стані та визнана клієнтами.

DCA - провідний світовий оксид MBE. Починаючи з 1993 року, проводиться систематичний розвиток методів окислення, антиоксидантне нагрівання субстрату та антиоксидантні джерела. З цієї причини багато провідних лабораторій обрали технологію оксиду DCA. Композитні напівпровідникові системи MBE використовуються у всьому світі. Система циркулюючої системи кріогенного обладнання VJ VJ (HL Cryo) та обладнання MBE з декількох моделей DCA мають відповідний досвід у багатьох проектах, таких як модель P600, R450, SGC800 тощо.