Навіть невеликі зміни температури, тиску чи чистоти можуть вплинути на вихід продукції у виробництві напівпровідників. Ми проектуємо кожну кріогенну систему перенесення в HL Cryogenics таким чином, щоб забезпечити стабільну теплову продуктивність і повну чистоту. Це особливо важливо для критично важливих інструментів, таких як травлення, літографія та системи охолодження пластин.
Заводи напівпровідників у Східній Азії потребують чогось відмінного від загальних застосувань промислового газу:
Дуже низька вібрація та перепади тиску
Немає ризику зараження
Працює постійно, 24 години на добу, 7 днів на тиждень
Через це проектування системи набагато суворішим, ніж для більшості інфраструктури ЗПГ або заводів з виробництва промислового газу на великогазовій основі.
Типова система складається з:
- Міні-танкабо зберігання насипом як джерело кріогену
- Основний розподіл черезВакуумно-ізольована труба
- Гнучкі з'єднання з використаннямВакуумно-ізольований гнучкий шланг
- Компоненти керування, такі якВакуумно-ізольований клапан
- Управління фазами черезВакуумний ізольований фазовий роздільник
Кожен компонент має бути спроектований як частина повністю інтегрованої системи для забезпечення стабільної роботи.
Зміст
1. Інженерний принцип: зменшення витоку тепла
2. Стабільність вакууму та довгострокова продуктивність
3. Розрахунок тиску та стабільність потоку
4. Відповідність міжнародним стандартам
●Інженерний принцип: зменшення витоків тепла
Головна мета будь-якої системи рідкого азоту — запобігти потраплянню тепла. Тепло передається через:
Провідність через опори та матеріали труб
Випромінювання між стінками внутрішньої та зовнішньої труб
Конвекція газу, що залишається у вакуумному просторі
НашВакуумно-ізольована трубаСистеми HL Cryogenics розроблені для створення дуже високого рівня вакууму (від 10⁻⁴ до 10⁻⁶ мбар), що значно уповільнює ці способи передачі тепла.
Кінцевий результат:
Нижчі показники випаровування
Стабільний рівень тиску
Краща ефективність усієї системи
Клапан з вакуумною ізоляцією
TheВакуумно-ізольований клапанпереконується, що:
Мало тепла потрапляє в контрольні точки
Надійне розділення в дуже холодних умовах
Довгий термін служби з меншим обслуговуванням
Під час циклів експлуатації та технічного обслуговування ці клапани необхідні для підтримки системи в належному стані.
●Стабільність вакууму та довгострокова продуктивність
Поєднуючи нашіСистема динамічного вакуумного насоса, Вакуумно-ізольований клапан, таФазовий роздільник, ми пропонуємо вам установку, яка ефективно переміщує рідкий гелій та знижує витрати. НашМіні-танкіГнучкі шлангиДозвольте нам точно виконувати як мобільні, так і стаціонарні роботи.
Підтримка вакууму протягом тривалого часу є великою проблемою для кріогенних систем. Мікровитоки та виділення газів з матеріалу призводять до поломки традиційних статичних вакуумних систем.
НашСистема динамічного вакуумного насосавиправляє це шляхом:
Завжди стежте за рівнем вакууму
Регулярне відновлення вакуумних умов
Запобігання погіршенню продуктивності
Це гарантує, що вакуумна ізоляція працюватиме однаково протягом тривалого часу, що важливо для напівпровідникових заводів, яким потрібна надійність без зупинок на роки.
Фазовий роздільникз вакуумною ізоляцією
Вакуумна ізоляціяФазовий роздільникдуже важливо для:
Отримання пари з рідкого азоту
Запобігання потраплянню газу до чутливого обладнання
Підтримка стабільного тиску та температури нижче за течією
Це особливо важливо для напівпровідникових інструментів, де навіть крихітні газові бульбашки можуть порушити процеси.
Гнучкий шлангз вакуумною ізоляцією
Вакуумна ізоляціяГнучкий шлангдає вам:
Механічна гнучкість для підключення обладнання
Ізоляція коливань
Збережено характеристики ізоляції
Правильно спроектовані кріогенні шлангові системи запобігають навантаженню жорстких трубопроводів та роблять їх надійнішими у високоточних умовах.
●Розрахунок тиску та стабільність потоку, вибір матеріалів та чистота
Для напівпровідникових застосувань підтримка стабільного тиску так само важлива, як і підтримка стабільної температури. Деякі поширені параметри системи:
Робочий тиск: 6–10 бар
Розрахунковий тиск: від 16 до 25 бар
Умови потоку: дуже різні залежно від того, наскільки потрібен інструмент
Зміни тиску можуть призвести до:
Фазова нестабільність (перехід від рідкого до газоподібного стану)
Непослідовність у процесі
Обладнання не працює
Щоб виправити це, ми ретельно визначаємо розмір кріогенної трубопровідної мережі та додаємоВакуумний ізольований фазовий роздільникагрегати для підтримки стабільного потоку та подачі рідкої фази.
Вибір правильних матеріалів дуже важливий як для продуктивності, так і для збереження чистоти. Зазвичай ми використовуємо:
Внутрішні труби з нержавіючої сталі (наприклад, SS304/316L)
Матеріали з низькою теплопровідністю для опор
Багатошарова ізоляція (MLI) з високою відбивною здатністю
Усі криогенні системи HL проходять суворі процеси очищення, щоб відповідати стандартам чистоти напівпровідникового класу, що усуває ризик забруднення частинками.
●Відповідність міжнародним стандартам
Щоб забезпечити глобальне визнання та довіру до закупівель, ми розробляємо системи відповідно до:
- АСМЕВ31.3
- DIN EN 13480
- Стандарти ISO для кріогенного обладнання
Це особливо важливо для проектів у:
- Напівпровідникові заводи у Східній Азії
- Промислові газові заводи в Європі
- Високотехнологічні виробничі центри в Південно-Східній Азії
Під час нашої останньої роботи на Тайвані для виробника електроніки ми встановили повномасштабну систему для рідкого азоту, застосовуючиВакуумно-ізольована труба, Гнучкий шланг з вакуумною ізоляцією,іСистема динамічного вакуумного насоса.
Основні питання, які потрібно було вирішити, були такими:
Віддалений маршрут постачання (довжиною >500 метрів)
Потреба в стабільному тиску (в межах відхилення ±0,2 бар)
Безперервна робота
Результати, отримані завдяки нашій системі:
Зменшення тепловтрат більш ніж на 95% порівняно з традиційними трубопроводами
Потік рідини без фазового переходу
Безперервна робота протягом 18 місяців з підтримкою вакуумних умов
●Найчастіші запитання
З 1992 року компанія HL Cryogenics спеціалізується на проектуванні та виробництві високовакуумних ізольованих кріогенних трубопровідних систем та супутнього допоміжного обладнання, адаптованих до різноманітних потреб клієнтів. Ми маємо сертифікати ASME, CE та ISO 9001, а також постачаємо продукцію та послуги багатьом відомим міжнародним підприємствам. Наша команда щира, відповідальна та прагне досконалості в кожному проекті, який ми беремося за нього.
Вакуумно ізольована/оболонкована труба
Гнучкий шланг з вакуумною ізоляцією/оболонкою
Фазовий роздільник / Паровий вентиляційний отвір
Вакуумно-ізольований (пневматичний) запірний клапан
Вакуумний ізольований зворотний клапан
Вакуумно-ізольований регулювальний клапан
Вакуумно-ізольовані з'єднувачі для холодильних боксів та контейнерів
Системи охолодження рідким азотом MBE
Інше кріогенне допоміжне обладнання, пов'язане з трубопроводами VI, включаючи, але не обмежуючись, групи запобіжних клапанів, датчики рівня рідини, термометри, манометри, вакуумметри та електричні блоки керування.
Ми раді виконати замовлення будь-якого розміру — від окремих одиниць до масштабних проектів.
Вакуумноізольовані труби (VIP) від HL Cryogenics виготовляються відповідно до стандарту ASME B31.3 для напірних трубопроводів.
HL Cryogenics – спеціалізований виробник вакуумного обладнання, який закуповує всю сировину виключно у кваліфікованих постачальників. Ми можемо закуповувати матеріали, що відповідають певним стандартам та вимогам клієнтів. Наш типовий вибір матеріалів включає нержавіючу сталь ASTM/ASME 300 з обробкою поверхні, такою як кислотне травлення, механічне полірування, блискучий відпал та електрополірування.
Розмір та розрахунковий тиск внутрішньої труби визначаються відповідно до вимог замовника. Розмір зовнішньої труби відповідає стандартним специфікаціям HL Cryogenics, якщо замовник не вкаже інше.
Порівняно зі звичайною ізоляцією трубопроводів, статична вакуумна система забезпечує чудову теплоізоляцію, зменшуючи втрати газифікації для клієнтів. Вона також є більш економічно ефективною, ніж динамічна система VI, знижуючи початкові інвестиції, необхідні для проектів.
●Пов'язані публікації
Час публікації: 13 квітня 2026 р.
