Системи охолодження рідким азотом широко використовуються в промисловості напівпровідників і мікросхем, включаючи процеси,
- Технологія молекулярно-променевої епітаксії (MBE)
- Тест мікросхеми після упаковки COB
Супутні товари
Серія труб з вакуумною ізоляцією
Серія гнучких шлангів з вакуумною ізоляцією
Система динамічного вакуумного насоса
Серія фазових сепараторів із вакуумною ізоляцією
Серія клапанів з вакуумною ізоляцією
Обладнання для підтримки системи трубопроводів
МОЛЕКУЛЯРНО-ПРОМЕНЕВА ЕПІТАКСІЯ
Технологія молекулярно-променевої епітаксії (MBE) була розроблена в 1950-х роках для отримання напівпровідникових тонкоплівкових матеріалів за допомогою технології вакуумного випаровування. З розвитком технології надвисокого вакууму застосування технології поширилося на сферу науки про напівпровідники.
HL помітила попит на систему охолодження рідким азотом MBE, організувала технічну базу для успішної розробки спеціальної системи охолодження рідким азотом MBE для технології MBE та повного набору системи трубопроводів із вакуумною ізоляцією, яка використовувалася на багатьох підприємствах, в університетах та науково-дослідних інститутах. .
Загальні проблеми промисловості напівпровідників і мікросхем включають:
- Тиск рідкого азоту в термінальному обладнанні (MBE). Запобігайте перевантаженню тиском від пошкодження термінального обладнання (MBE).
- Кілька елементів керування входом і виходом кріогенної рідини
- Температура рідкого азоту в кінцевому обладнанні
- Розумна кількість викидів кріогенного газу
- (Автоматичне) Перемикання магістральних та відгалужувальних ліній
- Регулювання тиску (зниження) і стабільність VIP
- Очищення бака від можливих забруднень і залишків льоду
- Час заповнення термінального рідинного обладнання
- Попереднє охолодження трубопроводу
- Стійкість до рідини в системі VIP
- Контрольні втрати рідкого азоту під час перервної роботи системи
Труба з вакуумною ізоляцією (VIP) HL побудована відповідно до коду напірних труб ASME B31.3 як стандарту. Інженерний досвід і здатність контролювати якість для забезпечення ефективності та економічності заводу замовника.
РІШЕННЯ
HL Cryogenic Equipment надає клієнтам систему трубопроводів з вакуумною ізоляцією, яка відповідає вимогам і умовам промисловості напівпровідників і мікросхем:
1. Система управління якістю: ASME B31.3 Код напірного трубопроводу.
2. Спеціальний фазовий сепаратор із декількома входами та вихідними отворами для кріогенної рідини з функцією автоматичного керування відповідає вимогам щодо викидів газу, переробленого рідкого азоту та температури рідкого азоту.
3. Адекватна та своєчасна конструкція вихлопу гарантує, що кінцеве обладнання завжди працює в межах проектного значення тиску.
4. Газорідинний бар'єр розміщується у вертикальній трубі VI в кінці трубопроводу VI. Газорідинний бар’єр використовує принцип газового ущільнення, щоб блокувати тепло від кінця трубопроводу VI до трубопроводу VI та ефективно зменшувати втрати рідкого азоту під час переривчастої та періодичної роботи системи.
5.VI Трубопроводи, керовані серією клапанів з вакуумною ізоляцією (VIV): включаючи (пневматичний) запірний клапан з вакуумною ізоляцією, зворотний клапан з вакуумною ізоляцією, регулюючий клапан з вакуумною ізоляцією тощо. Різні типи VIV можуть бути модульно об’єднані для керування VIP як потрібно. VIV інтегрований із заводським виготовленням VIP на заводі-виробнику без ізоляції на місці. Ущільнювач VIV можна легко замінити. (HL приймає марку кріогенних клапанів, визначену клієнтами, а потім виробляє клапани з вакуумною ізоляцією компанією HL. Деякі марки та моделі клапанів можуть бути недоступні для виробництва клапанів з вакуумною ізоляцією.)
6. Чистота, якщо є додаткові вимоги до чистоти поверхні камери. Рекомендується, щоб клієнти вибирали труби з нержавіючої сталі BA або EP як внутрішні труби VIP, щоб ще більше зменшити розлив нержавіючої сталі.
7. Фільтр із вакуумною ізоляцією: очистіть резервуар від можливих домішок і залишків льоду.
8. Після кількох днів або довшого відключення або технічного обслуговування дуже необхідно попередньо охолодити трубопроводи VI та кінцеве обладнання перед введенням кріогенної рідини, щоб уникнути утворення льоду після того, як кріогенна рідина безпосередньо потрапляє в трубопроводи VI та кінцеве обладнання. При проектуванні слід враховувати функцію попереднього охолодження. Це забезпечує кращий захист кінцевого обладнання та допоміжного обладнання трубопроводів VI, наприклад клапанів.
9. Підходить як для динамічної, так і для статичної (гнучкої) системи трубопроводів з вакуумною ізоляцією.
10. Динамічна система трубопроводів із вакуумною ізоляцією (гнучка): складається з гнучких шлангів VI та/або труби VI, перемичних шлангів, системи клапанів із вакуумною ізоляцією, фазових сепараторів і системи динамічного вакуумного насоса (включаючи вакуумні насоси, електромагнітні клапани та вакуумметри тощо). ). Довжину одного гнучкого шланга VI можна налаштувати відповідно до вимог користувача.
11. Різні типи з'єднань: можна вибрати тип вакуумного байонетного з'єднання (VBC) і зварне з'єднання. Тип VBC не потребує ізоляційної обробки на місці.
