Системи охолодження рідким азотом широко використовуються в напівпровідниковій та мікросхемній промисловості, включаючи процес,
- Технологія молекулярно-променевої епітаксії (MBE)
- Тестування чіпа після встановлення COB-корпусу
Супутні товари
Серія вакуумно-ізольованих труб
Серія гнучких шлангів з вакуумною ізоляцією
Система динамічного вакуумного насоса
Серія вакуумно-ізольованих фазових роздільників
Серія вакуумно-ізольованих клапанів
Обладнання для підтримки трубопровідних систем
МОЛЕКУЛЯРНО-ПРОМЕЧЕВА ЕПІТАКСІЯ
Технологія молекулярно-променевої епітаксії (MBE) була розроблена в 1950-х роках для отримання тонкоплівкових напівпровідникових матеріалів за допомогою технології вакуумного випаровування. З розвитком технології надвисокого вакууму застосування цієї технології поширилося на галузь напівпровідникової науки.
Компанія HL помітила попит на систему охолодження рідким азотом MBE, організувала технічну базу для успішної розробки спеціальної системи охолодження рідким азотом MBE для технології MBE та повного комплекту вакуумно-ізольованих трубопровідних систем, які використовуються на багатьох підприємствах, в університетах та дослідницьких інститутах.
До поширених проблем напівпровідникової та чіпової промисловості належать:
- Тиск рідкого азоту в термінальному (MBE) обладнанні. Запобігання пошкодженню термінального (MBE) обладнання внаслідок перевантаження тиском.
- Кілька елементів керування впуском та випуском кріогенної рідини
- Температура рідкого азоту в термінальному обладнанні
- Достатня кількість кріогенних викидів газу
- (Автоматичне) перемикання головних та відгалужених ліній
- Регулювання (зниження) тиску та стабільність VIP
- Очищення резервуара від можливих забруднень та залишків льоду
- Час заповнення термінального рідинного обладнання
- Попереднє охолодження трубопроводу
- Стійкість до рідин у VIP-системі
- Контроль втрат рідкого азоту під час переривчастої роботи системи
Вакуумноізольовані труби (VIP) від HL виготовляються відповідно до стандарту ASME B31.3 «Напірні трубопроводи». Інженерний досвід та здатність контролювати якість забезпечують ефективність та економічну ефективність заводу клієнта.
РІШЕННЯ
Компанія HL Cryogenic Equipment пропонує клієнтам вакуумно-ізольовані трубопроводи, що відповідають вимогам та умовам напівпровідникової та мікросхемної промисловості:
1. Система управління якістю: ASME B31.3 Кодекс напірних трубопроводів.
2. Спеціальний фазовий сепаратор з кількома кріогенними рідкими входами та виходами з функцією автоматичного керування відповідає вимогам щодо викидів газів, переробленого рідкого азоту та температури рідкого азоту.
3. Адекватне та своєчасне проектування вихлопних систем гарантує, що термінальне обладнання завжди працює в межах проектного значення тиску.
4. Газорідинний бар'єр розміщується у вертикальній трубі VI на кінці трубопроводу VI. Газорідинний бар'єр використовує принцип газового ущільнення для блокування тепла від кінця трубопроводу VI до трубопроводу VI та ефективно зменшує втрати рідкого азоту під час переривчастої та періодичної роботи системи.
5. Трубопровід VI, що керується вакуумно-ізольованими клапанами серії (VIV): включаючи вакуумно-ізольовані (пневматичні) запірні клапани, вакуумно-ізольовані зворотні клапани, вакуумно-ізольовані регулювальні клапани тощо. Різні типи VIV можуть бути модульно об'єднані для керування VIP за потреби. VIV інтегрований із VIP-збіркою виробника, без обробки ізоляцією на місці. Ущільнювальний блок VIV можна легко замінити. (HL приймає марку кріогенних клапанів, зазначену замовниками, а потім виготовляє вакуумно-ізольовані клапани власними силами. Деякі марки та моделі клапанів можуть бути непридатними для перетворення на вакуумно-ізольовані клапани.)
6. Чистота, якщо є додаткові вимоги до чистоти поверхні внутрішньої труби. Рекомендується, щоб клієнти вибирали труби з нержавіючої сталі BA або EP як внутрішні труби VIP, щоб ще більше зменшити розлив нержавіючої сталі.
7. Вакуумний ізольований фільтр: Очистіть резервуар від можливих домішок та залишків льоду.
8. Після кількох днів або довше простою чи технічного обслуговування вкрай необхідно попередньо охолодити трубопровід VI та термінальне обладнання перед подачею кріогенної рідини, щоб уникнути утворення шлаку у вигляді льоду після безпосереднього потрапляння кріогенної рідини у трубопровід VI та термінальне обладнання. Функцію попереднього охолодження слід враховувати під час проектування. Це забезпечує кращий захист термінального обладнання та допоміжного обладнання трубопроводів VI, такого як клапани.
9. Підходить як для динамічних, так і для статичних вакуумно-ізольованих (гнучких) трубопровідних систем.
10. Динамічна вакуумно-ізольована (гнучка) трубопровідна система: складається з гнучких вакуумно-ізольованих шлангів та/або труби VI, перемичних шлангів, системи вакуумно-ізольованих клапанів, фазових роздільників та динамічної вакуумної насосної системи (включаючи вакуумні насоси, електромагнітні клапани, вакуумметри тощо). Довжину одного гнучкого вакуумно-ізольованого шланга можна налаштувати відповідно до вимог користувача.
11. Різні типи з'єднань: можна вибрати тип вакуумного байонетного з'єднання (VBC) та зварне з'єднання. Тип VBC не потребує ізоляції на місці.
