Системи охолодження рідкого азоту широко використовуються в напівпровідниковій та мікросхемі, включаючи процес,
- Технологія епітаксії молекулярного променя (MBE)
- Тест чіпа після пакету COB
Супутні продукти
Вакуумні утеплені труби серії
Вакуумна ізоляція гнучких шлангів
Динамічна система вакуумного насоса
Серія вакуумних ізольованих фаз
Серія вакуумних ізольованих клапана
Обладнання підтримки системи трубопроводів
Молекулярна епітаксія
Технологія епітаксії молекулярного променя (MBE) була розроблена в 1950 -х роках для приготування напівпровідникових тонких плівок з використанням технології вакуумного випаровування. З розробкою надвисокої вакуумної технології застосування технології було поширено на сферу напівпровідникової науки.
HL помітив попит на систему охолодження рідкої азоту MBE, організовану технічну основу для успішного розробки спеціальної системи копіювання рідкої азоту MBE для технології MBE та повного набору вакуумних ізольованих трубопроводів, яка використовувалася у багатьох підприємствах, університетах та науково -дослідних інститутах .
Поширені проблеми напівпровідникової та чіп -індустрії включають,
- Тиск рідкого азоту на кінцеве (MBE) обладнання. Запобігти перевантаженню тиску від пошкодження обладнання (MBE).
- Множинні кріогенні контроль
- Температура рідкого азоту в кінцеве обладнання
- Розумна кількість кріогенних викидів газу
- (Автоматична) Перемикання основних та гілкових ліній
- Коригування тиску (зменшення) та стабільність VIP
- Очищення можливих домішок та залишків льоду з танка
- Час заповнення кінцевого рідкого обладнання
- Трубопровідне попереднє охолодження
- Рідкий опір у VIP -системі
- Контрольна втрата рідкого азоту під час переривленого обслуговування системи
Вакуумна труба HL (VIP) побудована для коду трубопроводу ASME B31.3 як стандарт. Інженерний досвід та здатність контролю якості забезпечити ефективність та економічну ефективність заводу замовника.
Рішення
Кріогенне обладнання HL надає клієнтам систему вакуумної утепленої трубопроводу для задоволення вимог та умов напівпровідникової та чіп -індустрії:
1. Система управління якості: ASME B31.3 Код трубопроводу тиску.
2. Спеціальний фазовий сепаратор з множинним кріогенним входом рідини та виходом з функцією автоматичного контролю відповідає вимогам випромінювання газу, переробленого рідкого азоту та температури рідкого азоту.
3.адекватна та своєчасна вихлопна конструкція гарантує, що обладнання для терміналу завжди працює в рамках розробленого значення тиску.
4. Бар'єр газо-рідини поміщається у вертикальну трубу VI в кінці трубопроводу VI. Бар'єр газо-рідина використовує принцип газового ущільнення для блокування тепла з кінця трубопроводу VI у трубопроводи VI та ефективно зменшити втрату рідкого азоту під час розривного та переривчастої служби системи.
5. VI трубопроводи, керовані серією вакуумного ізоляції (VIV): включаючи вакуумний утеплений (пневматичний) відключений клапан, вакуумний зворотний клапан, вакуумний утеплений регулюючий клапан тощо. Різні типи VIV можуть бути модульними для контролю VIP як необхідний. VIV інтегрується з VIP-збірним у виробника, без утепленого на місці. Блок ущільнення VIV можна легко замінити. (HL приймає бренд кріогенного клапана, призначений клієнтами, а потім робить вакуумні утеплені клапани HL. Деякі бренди та моделі клапанів, можливо, не можуть бути перетворені у вакуумні утеплені клапани.)
6. Клішність, якщо є додаткові вимоги до чистоти поверхні внутрішньої трубки. Пропонується, щоб клієнти вибирали труби з нержавіючої сталі BA або EP як VIP -внутрішні труби для подальшого зменшення розливання нержавіючої сталі.
7. Ізольований фільтр VACUUM: очистіть можливі домішки та залишки льоду з бака.
8. Після декількох днів або довше відключення або технічного обслуговування дуже необхідно попередньо передати обладнання для трубопроводів та кінцевих споруд до введення кріогенної рідини, щоб уникнути шлаку льоду після кріогенної рідини безпосередньо в трубопроводи та термінальному обладнанні. Функція попереднього охолодження слід враховувати в дизайні. Він забезпечує кращий захист обладнання для термінальних терміналів та обладнання для підтримки трубопроводів VI, таке як клапани.
9
10. Джинамічна вакуумна (гнучка) трубопровідна система: складається з гнучких шлангів VI та/або VI труби, шлангів для перемичок, вакуумної системи ізольованого клапана, фазових сепараторів та динамічних вакуумних насосів (включаючи вакуумні насоси, соленоїдні клапани та вакуумні примірки тощо. .). Довжина гнучкого шланга VI може бути налаштована відповідно до вимог користувача.
11. Різні типи з'єднань: можна вибрати вакуумний байонет (VBC) та зварене з'єднання. Тип VBC не потребує утепленого на місці лікування.
